半導體靶材主要有哪些? 2021-10-23 常見問題 1 個回答 最佳答案: 半導體鍍膜用靶材主要有W、WTi合金、Ti、Ta、Al、Cu、Au、Pt等。半導體鍍膜要求靶材純度很高,對堿金屬、放射性元素等雜質含量要求也十分嚴格。